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氦离子化气相色谱仪
产品简介

氦离子化气相色谱仪广泛应用于天然气、炼厂气、裂解气中H₂、O₂、N₂、CO等组分的定量分析。高纯气体(如电子级氩气、氮气)中杂质检测。
半导体工业:超纯气体(氦、氖、氩)中痕量杂质的质量控制

产品型号:GC-2090
更新时间:2025-02-24
厂商性质:生产厂家
访问量:156
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品牌ZKP/中科谱仪器种类实验室
产地类别进口价格区间20万-30万
适用行业高纯气体分析专用应用领域化工,电子/电池,电气

氦离子化气相色谱仪应用于高纯气体分析标准

GB/T 8979-2008 高纯氮

GB/T 4844.3-1995 高纯氦

GB/T 7445-1995 纯氢、高纯氢、超纯氢

GB/T 16942-2009 电子工业用气体 氢

GB/T 16943-2009 电子工业用气体 氦

这些标准规定了高纯气体中痕量杂质的分析方法,氦离子化气相色谱仪是主要检测工具。

电子工业用气体标准

GB/T 14604-2009 电子工业用气体 氧

GB/T 14600-2009 电子工业用气体 氧化氩氮

GB/T 18994-2003 电子工业用气体 高纯氯

这些标准适用于半导体、电子制造行业,要求使用氦离子化气相色谱仪检测ppb级杂质

氦离子化气相色谱仪工作原理

氦作为载气与电离源:

高纯氦气在高压电场或放射性源(如β射线)激发下,产生高能亚稳态氦原子(He*)或氦离子(He⁺)。

当被测气体分子与这些高能粒子碰撞时,发生电离,产生电子和正离子,形成电流信号。

信号强度与气体浓度成正比。

检测模式:

脉冲放电模式(PDHID):通过脉冲放电产生高能氦等离子体,灵敏度高且无需放射性源。

传统模式:依赖放射性同位素(如³H或⁶³Ni)激发氦气,现已较少使用。

核心特点

超高灵敏度:

检测限可达ppb级(甚至更低),特别适合痕量气体分析。

对H₂、O₂、N₂、CO、CO₂等气体响应优异

宽线性范围:

信号与浓度在多个数量级内呈线性关系,适合不同浓度样品的分析。

通用性:

可检测几乎所有气体(包括惰性气体),但对复杂有机物的灵敏度较低。

主要应用领域

环境监测:

大气中痕量污染物(如CO、CH₄、SF₆)的检测。

温室气体(CO₂、N₂O)分析。

石油化工:

天然气、炼厂气、裂解气中H₂、O₂、N₂、CO等组分的定量分析。

高纯气体(如电子级氩气、氮气)中杂质检测。

半导体工业:

超纯气体(氦、氖、氩)中痕量杂质的质量控制。

科研领域:

地质样品中稀有气体(He、Ne、Ar)分析。

化学反应中气体产物的实时监测。

局限性

依赖高纯氦气:

氦气成本高且资源有限,需严格净化以避免杂质干扰。

维护复杂:

系统需高度洁净,避免污染导致基线漂移或噪声。

脉冲放电模式需优化电压、流量等参数。

对有机物灵敏度低:

复杂有机物(如烃类)更适合用FID或MS检测。

氦离子化气相色谱仪与其他检测器的对比

检测器灵敏度适用物质载气要求特点

HID 惰性气体必须用高纯氦气宽线性范围,通用性强

TCD通用任意载气稳定性好,但灵敏度低

FID有机物氢气/空气对碳氢化合物响应优异

ECD电负性物质(如卤素)氮气/氩气选择性高,用于农药、PCB分析

注意事项

氦气纯度:建议使用99.999%以上的氦气,并配备气体净化器。

系统泄漏:微小泄漏会导致基线不稳定,需定期检漏。

色谱柱选择:常用分子筛、PLOT柱或毛细管柱分离气体



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